QNP-XY: guide di posizionamento piezoelettriche di Aerotech

PiezoXYStages-AltLe guide di posizionamento piezoelettriche della serie QNP-XY di Aerotech offrono la risoluzione, la linearità, la ripetibilità e la dinamicità necessarie per le applicazioni di alta precisione di microscopiae allineamento ottico.

Con una risoluzione fino a 0,15 nm, una linearità pari allo 0,007% e una ripetibilità massima di 2 nm, la precisione al nanometro è garantita. Grazie alla dinamicità (rigidità e frequenza di risonanza) più elevata rispetto a guide simili per dimensioni e corsa, si possono ottenere minori tempi di processo.

La versatilità di questa serie di guide è completata da numerose opzioni di corsa (da 100 μm a 600 μm), opzioni di feedback e versioni per vuoto.

Le guide piezoelettriche QNP sono guidate tramite un sistema a flessione “Flexure” di precisione ottimizzato attraverso l’analisi di elementi finiti “FEA”. Questo design garantisce una rigidità e una frequenza di risonanza (fino a 885 Hz) eccellenti per una produttività elevata e una risposta ad anello chiuso rapida.

Inoltre, il pacchetto XY incorporato riduce la massa in movimento e l’altezza del blocco della guida, offrendo prestazioni statiche e multiassiali dinamiche superiori.

Tutte le guide piezoelettriche QNP offrono feedback ad anello chiuso utilizzando un esclusivo sensore capacitivo che garantisce una risoluzione di posizionamento sub-nanometrica e un posizionamento di alta precisione (linearità). I sensori capacitivi misurano direttamente l’output del carrello di posizionamento, garantendo così una linearità e una ripetibilità superiori.

In abbinamento con i controller e i drive della serie Q di Aerotech, le guide piezoelettriche QNP garantiscono una risoluzione di posizionamento sub-nanometrica, un’elevata stabilità in posizione (jitter) e un’alta larghezza di banda sul posizionamento. I pacchetti software Dynamic Controls Toolbox e Motion Designer di Aerotech offrono funzionalità sofisticate ma intuitive quali Learning Control, Harmonic Cancellation e Command Shaping, per una riduzione degli errori di tracciatura e tempi di passo e assestamento più brevi.

Le guide piezoelettriche QNP di Aerotech sono disponibili con feedback tramite sensore capacitivo o senza feedback (anello aperto). La versione senza sensore (anello aperto) è una soluzione economica per applicazioni in cui sono necessarie dinamicità elevata e risoluzione di posizionamento sub-nanometrica, ma che non richiedono ripetibilità e precisione di posizionamento massima.

Questa versione può anche essere utilizzata in applicazioni in cui la posizione è controllata tramite una sorgente di feedback esterna (interferometro, sistema di visione, fotorilevatore, ecc.).

Per ulteriori informazioni sulle guide QNP-XY, visitare il sito Aerotech.

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