Aerotech: nanoposizionatori piezoelettrici per asse Z

QNP-Z-Stages-AltLe guide di nanoposizionamento piezoelettriche della serie QNP-Z vanno ad arricchire la già nutrita famiglia di guide piezoelettriche di Aerotech, che include le guide lineari QNP-L e le guide QNP-XY.

Le guide della serie QNP-Z garantiscono la risoluzione, la linearità, la ripetibilità e la dinamicità necessarie per le applicazioni di alta precisione di microscopia e allineamento ottico. Con una risoluzione fino a 0,15 nm, una linearità pari allo 0,007% e una ripetibilità massima di 1 nm, viene garantita la precisione al nanometro.

Grazie alla dinamicità elevata (rigidità e frequenza di risonanza), si può ottenere una produttività più elevata in processi critici. La versatilità di questa serie è garantita dallenumerose opzioni di corsa (da 100 μm a 600 μm), di feedback e la possibilità di essere preparate per il vuoto.

Le guide piezoelettriche QNP-Z sono guidate tramite un sistema a flessione di precisione ottimizzato attraverso l’analisi di elementi finiti “FEA”. Questo design garantisce una rigidità ed una frequenza di risonanza (fino a 1050 Hz) eccellenti per una produttività elevata ed una rapida risposta ad anello chiuso. Le guide sono state progettate per garantire eccellenti prestazioni geometriche (errori d’angolo e linearità) in un design estremamente compatto.

Tutte le guide piezoelettriche QNP offrono feedback ad anello chiuso utilizzando unesclusivo sensore capacitivo che garantisce una risoluzione di posizionamento sub-nanometrica ed un’elevata linearità. I sensori capacitivi misurano direttamente l’output del carrello di posizionamento, garantendo così un’accuratezza ed una ripetibilità superiori.

In abbinamento con i controller e i driver della serie Q di Aerotech, le guide piezoelettriche QNP garantiscono una risoluzione di posizionamento sub-nanometrica, un’elevata stabilità in posizione (jitter) e un’alta larghezza di banda sul posizionamento. I pacchetti software Dynamic Controls Toolbox e Motion Designer di Aerotech offrono funzionalità sofisticate ma intuitive quali Learning Control, Harmonic Cancellation e Command Shaping, per una riduzione degli errori di tracking e step-and-settle times più brevi.

Le guide piezoelettriche QNP di Aerotech sono disponibili con feedback tramite sensore capacitivo o senza feedback (anello aperto). La versione senza sensore (anello aperto) è una soluzione economica per applicazioni in cui è richiesta un’elevata compattezza, un’alta dinamicità e risoluzione sub-nanometrica, ma che non richiedono ripetibilità e accuratezza assoluta.

Questa versione può anche essere utilizzata in applicazioni in cui la posizione è controllata tramite feedback esterno (interferometro, sistema di visione, fotorilevatore, ecc.).

Lascia un commento

Please enter your comment!
Please enter your name here